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更新時間:2026-05-18
瀏覽次數:119德國 Hellma 氟化鈣(CaF?)晶體
透射范圍:130 nm(深紫外)~8 μm(中紅外),覆蓋 UV/VIS/IR 全波段。
關鍵指標:193 nm(光刻核心波長)內透過率≥99.3%/cm,無吸收峰、低雜散光;248 nm/355 nm/1–5 μm 紅外透過率 **≥95%**。
價值:單材料適配多波段系統,減少元件數量、降低成本。

折射率:nd=1.43384;阿貝數:νd=95.23(僅為普通光學玻璃 1/5)。
均勻性:應力雙折射 **≤0.5 nm/cm**,雙折射效應 **≤5×10??**,杜絕波前畸變。
價值:光刻、天文、精密成像分辨率 / 清晰度拉滿。
純度:金屬雜質 **<1 ppm**,原子級晶格規整,無缺陷、無雜質。
低熒光:深紫外 / 可見光波段背景熒光極低,適配拉曼 / 熒光光譜高精度檢測。
價值:半導體 7nm 以下制程、科研儀器標配。
耐受波長:157 nm/193 nm/248 nm 準分子激光,高頻高功率長期照射不衰減。
損傷閾值:≥10 J/cm2@193 nm,遠超行業標準。
價值:光刻物鏡、激光諧振腔、光束傳輸壽命長、維護少。
熱學:熱導率9.71 W/(m·K)@20℃,補償高熱膨脹,低溫度系數(~10??/℃)。
機械:莫氏硬度 4 級,易加工 + 耐磨;最大尺寸直徑 440 mm、厚度 150 mm,支持大口徑定制。
環境:耐輻照(航天 / 高能環境)、耐高溫(大氣 600℃/ 真空 800℃)、抗潮解。
工藝:德國耶拿(Jena)熔體生長 + 精密退火,百年光學底蘊 + 原肖特光刻級技術。
定制:尺寸、取向(<111>/<100>)、端面鍍膜、異形加工按需定制。

氟化鈣(CaF?)為立方晶系各向同性晶體,電子能帶結構特殊:禁帶寬度大(≈10 eV),130 nm~8 μm 波段無電子躍遷吸收,實現全波段高透射。
低色散源于離子晶體弱色散特性:折射率隨波長變化極小,阿貝數高達 95.23,色差校正能力很強。
高均勻性:原子級規整晶格 + 低應力退火,光束波前幾乎無畸變,保證光學系統成像 / 定位精度。
原料:超高純 CaF?粉料(99.999%+),雜質 < 1 ppm,從源頭杜絕吸收與散射。
生長:自主熔體生長(坩堝下降法),精準控溫梯度與氣氛,抑制晶格缺陷 / 位錯,生長大尺寸單晶。
退火:精密應力釋放,應力雙折射降至≤0.5 nm/cm,消除內應力導致的光學畸變。
半導體光刻:193 nm 深紫外高透 + 低色散 + 高激光耐久,支撐 45nm→7nm 制程光刻物鏡。
高功率激光:低非線性折射率 + 高損傷閾值,激光光束無畸變、長期穩定傳輸。
天文 / 空間光學:低色散 + 耐輻照 + 大尺寸,空間相機 / 望遠鏡消色差 + 抗惡劣環境。
光譜分析:寬波段高透 + 低熒光,拉曼 / 紅外 / 紫外光譜背景干擾極低、檢測精度高。
德國 Hellma 氟化鈣:深紫外 - 紅外全通、超低色散、超高純度、激光耐久、ji端工況穩定,半導體光刻 / 高功率激光 / 天文 / 精密光譜gao端光學系統材料,德國原廠品質、全定制服務、大尺寸交付。
半導體:193 nm 光刻物鏡 / 照明光學、7nm 以下制程核心材料。
激光技術:準分子激光諧振腔、高功率激光窗口 / 棱鏡、醫用激光(OCT)。
天文 / 航天:空間望遠鏡、高分辨率衛星相機、航天光學窗口。
科研儀器:拉曼光譜、紅外光譜、紫外 - 可見分光光度計、真空光學窗口。
工業檢測:高精度光學測量、機器視覺、紅外熱成像系統。